山崎瞬平(共)編/酸化物半導体CAAC-IGZOの物理と技術:LSIへの応用 高品質

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Physics ad Techology of Crystallie Oxide Semicoductor CAAC-IGZO : Applicatio to Lsi (Wiley-sid Series i Display Techology)2017 Joh Wiley ad Sos酸化物半導体IGZOのLSI応用をまとめた書籍です。This book describes the applicatio of c-axis aliged crystallie I-Ga-Z oxide (CAAC-IGZO) techology i large-scale itegratio (LSI) circuits. The applicatios iclude No-volatile Oxide Semicoductor Radom Access Memory (NOSRAM), Dyamic Oxide Semicoductor Radom Access Memory (DOSRAM), cetral processig uit (CPU), field-programmable gate array (FPGA), image sesors, ad etc. The book also covers the device physics (e.g., off-state characteristics) of the CAAC-IGZO field effect trasistors (FETs) ad process techology for a hybrid structure of CAAC-IGZO ad Si FETs. It explais a extremely low off-state curret techology utilized i the LSI circuits, demostratig reduced power cosumptio i LSI prototypes fabricated by the hybrid process.

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